采用接触式测头测量时,由于测头半径的影响,得到的坐标数据并不是测头所触及的表面的坐标,而是测头球心的坐标,当被测点的表面法矢方向和测轴方向一致时,海克斯康三次元搬迁,测头坐标和测头中心相差一个测头半径值。如果忽略测头半径,即测量得到的数据不进行半径补偿处理,就会带来数据补偿误差。因此,在对工件进行检测之前,需对所使用的测杆进行校验,需要对实际的接触点与软件纪录的位置沿着测点矢量方向进行的测头半径位置的补偿。
因此测量时要尽可能使测针轴线与被测表面垂直,使测头沿着被测表面的法线方向移动,以上限度地减小测球半径补偿误差,
通过校验,需消除以下三方面的误差:
(1)理论测杆半径与实际测杆半径之间的误差;
(2)理论测杆长度与实际测杆长度的误差;
(3)测头旋转角度之误差。
通过校验消除以上3个误差,石柱海克斯康三次元,得到正确的补偿值。因此校验结果的准确度,直接影响工件的检测结果。
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1) 多功能箱体:多功能箱有各种已标定的标准量,通过对这些标准量的测
量,海克斯康三次元维修,可以得出坐标测量机的检测误差。
2) 标准量块法:用长度分别为长轴满行程1/3,1/2和1/4的3种量块进行
测量,一般将量块放在测量空间中部,与其对角线找正,也可用步距规进行细致的检测。
3) 空间球板法:在一平板的不同高度上分布着一系列钢球,预先对球间距
进行精密标定。用测量机对球间距进行采样时,根据被测值与标定值之间的差值可以知道测量机的检测误差。
4) 磁性球头棒法:磁性球头棒是由一根两端固定高精度钢球的棒和磁性球
座组成,它以球头棒的球心距作为标准量。当球头棒在测量空间转动测量时,将棒长的测量值与标准值相比,就可以知道球心距的测量误差。 5) Ren ishaw检测规:其工作原理类似于磁性球头棒。检测规的转臂在测
头的带动下可以在测量空间内旋转,形成标准圆弧。转臂长度已经精密标定,测量得到的坐标值与理想坐标值的差值为测量机各个轴向的空间误差值。
6) 激光干涉仪法:以双频激光干涉仪为基础仪器,进行位置误差、直线度
误差、角运动误差和垂直度误差的测量。采用双频激光干涉仪法和电子水平仪对各个单项误差逐一测量,这种方法精度很高,但测量时间较长,而且仪器价格昂贵,对操作人员水平要求较高。在多数情况下,可以选取一些特殊的位置,使得仅有一部分几何误差对总的空间误差起作用,然后根据单项几何误差的性质,海克斯康三次元升级,用高次多项式逼近,用较少的未知数求解,后分离出全部21项误差,达到高精度测量的要求
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